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離子鍍膜機常見的離子鍍類型及特點

   真空離子鍍膜機是真空鍍膜設(shè)備的一種,它指的是一類需要在一定真空環(huán)境下進行的鍍膜。離子鍍膜機的原理和真空鍍膜機的類似,這里就不多加贅述了。今天,給大家簡單介紹下離子鍍膜機較常使用的離子鍍的類型及特點。
    1、電阻加熱或電子束加熱蒸發(fā)源
    ①直流放電二極型
    特點:繞射性好,附著性好,基板溫度易上升,膜結(jié)構(gòu)及形貌差,若用電子束加熱必須用差壓板。
    ②多陰極型
    特點:采用低能電子離化效率高,膜層質(zhì)量可控制。
    ③射頻放電離子鍍
    特點:不純氣體少,成膜好,化合物成膜更好。匹配較困難。
    2、電子束加熱蒸發(fā)源
    ①活性反應蒸鍍
    特點:蒸鍍效率高,能獲得三氧化二鋁、TiN等薄膜。
    ②增強的ARE型
    特點:易離化,基板所需功率和放電功率能獨立調(diào)節(jié),膜層質(zhì)量、厚度都容易控制。
    ③低壓等離子鍍
    特點:結(jié)構(gòu)簡單能獲得TiC、TiN等化合物鍍層。
    ④電場蒸發(fā)
    特點:帶電場的真空蒸鍍,鍍層質(zhì)量好。
    3、等離子電子束
    空心陰極放電離子鍍
    特點:離比效率高,電子束斑較大,金屬膜、介質(zhì)膜、化合物膜都能鍍。
    CCZK-ION多弧離子真空鍍膜機

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