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真空電鍍設(shè)備的發(fā)展?jié)摿?/h1>

    真空電鍍設(shè)備是指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,包括真空離子蒸發(fā)、磁控濺射、MBE分子束外延等很多種,不過比較常見是蒸發(fā)和濺射兩種。蒸發(fā)鍍膜一般是通過加熱靶材使靶材表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來,使其沉降在基片表面,通過進一步的成膜過程形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,我們可以理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且使其沉積在基片表面,經(jīng)歷進一步成膜過程,最終形成薄膜。兩種方式需要在較高真空環(huán)境下進行,故叫真空鍍膜技術(shù)。真空電鍍相比傳統(tǒng)水電鍍,發(fā)展?jié)摿?,對環(huán)境污染小,成本較低,做出來的產(chǎn)品金屬感強,亮度高,為各行業(yè)廣泛采用。 

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